Процессы роста кластеров в магнетронном разряде.
Объединенный Институт Высоких Температур РАН, г.Москва
В данной работе производится анализ процессов, происходящих в области магнетронного разряда с участием атомов металла. Строится модель для описания процессов рождения и роста кластеров при конденсации паров металла, полученных вследствие эрозии катода. На основании построенной модели производится расчет эффективности работы такой установки
Copyright© 2003-2008 Институт Механики МГУ